助力学术科研,加速产线降本增效!复享光学全自动椭偏仪/反射膜厚仪【免费测样】
当您的学术论文、前沿课题研究,或是企业的新产品研发、产线质控表征需要样品的薄膜厚度、光学常数、穆勒矩阵元素、退偏分析、各向异性、膜厚均匀性(Mapping)等高精密量测数据时,是否也遇到了以下困难:
设备精度到顶: 面对1~5nm的极限超薄膜,却没有足够高精度的测量仪器,研发数据天天飘,企业不敢投产、科研无法发文?
复杂膜系跑飞: 面对几十甚至上百层的复杂多层膜,建模型拟合如同抽丝剥茧,传统算法耗时耗力还经常“无解”?
特殊场景抓瞎: 芯片微区封装光斑太大测不到?曲面镜片或大型工件涂层根本塞不进传统的量测样品台?
外部检测受限: 委外第三方检测机构不仅费用昂贵、排队周期长,且数据拟合质量参差不齐,难以直接应用?
如您遇到诸如此类的情况,复享光学可帮您解决!

作为深度光谱检测领域的领军企业,复享光学始终坚守“深耕科技前沿、服务先进产业”的初心,乐于协助高校学子的学术研究,更深度赋能工业半导体制程与泛半导体领域的工艺迭代。
在此,复享光学全新推出《2026年度薄膜量测·全领域免费测样计划》。我们每月提供20个免费检测名额,全面面向高校/研究院课题组、工业产线质控实验室开放。只要您在科研、研发或质控中遇到薄膜量测与拟合难题,均可向复享光学寻求帮助!我们的资深应用工程师团队在详细了解需求后,将为您提供最佳的量测服务与定制报告。
全自动穆勒矩阵椭偏仪MetronME-XT-300

复享全自动穆勒矩阵椭偏仪MetronME-XT-300是针对科研级用户开发的一款高速、高精度、高稳定性光学测量仪器,基于多层膜干涉和椭偏测量原理,可实现透明、半透明介质膜、金属膜的膜厚和光学常数表征,以及块材光学常数表征;还包括各种各向同性/异性薄膜材料膜厚、光学纳米光栅常数以及一维/二维纳米光栅材料结构的表征分析;具备对位传感器自动对准,支持兼容4-12寸自动化Mapping扫描多点测量;适用于半导体、液晶面板、太阳能电池、光学镀膜等行业。
1,高精度
对SiO₂、SiN、光刻胶等常见薄膜,膜厚重复性精度优于0.005nm折射率重复性精度优于0.001,拟合算法成熟,重复性优异。可实现单原子层级膜厚测量准度;
2,全自动Mapping
内置高精度位移平台,兼容4-12寸自动化Mapping,支持真空吸附,支持栅格、放射状、螺旋线等扫描路径,生成膜厚 / 折射率分布云图、大幅提升检测效率;
3,先进的双旋转补偿器测量技术
单次测量可获取16组全穆勒矩阵光谱;可测量膜厚(单层 / 多层),支持各向异性、退偏样品表征;
4,软件直观
直观展示实验值 vs 拟合值光谱,残差分析,快速评估拟合质量,支持图形化建模;
反射膜厚测量仪MetronFilm-EX

基于光学非接触技术,用于精密快速检测薄膜厚度的专业设备。采用自研高分辨光谱仪,搭配强大智能算法,可以进行透明或半透明的膜层厚度及光学常数(n&k)的无损测量。MetronFilm-EX搭载了可见光+紫外光源,准确度溯源NIST,可支持极薄膜到厚膜、单层膜到多层复杂膜系的测量分析。适用于半导体、光学涂层、显示面板、生物医药、光伏新能源、教学实验室等多种行业领域的薄膜测量。
1,超宽测量范围
1nm~260μm超宽测量范围,从超薄膜至厚膜达到超广覆盖;
2,溯源NIST,测量准确性有保证
膜厚在500nm以下准确度达到1nm, 膜厚在500nm以上准确度达到0.2%;
3,着眼特色工艺,助力先进制程
适用多种先进工艺,可测单/多层膜的厚度和n&k。二元复合多层膜实测可多达232层(见文章《当薄膜变成神经网络:复享光学为百层3D NAND量测找到新路径》 )。可应用于如3D NAND、AR+HC复合光学涂层、 PERC薄膜等的复杂膜系测量;
4,快速测量
单层膜测量1s内完成;多层膜检测耗时数量级下降;
5,光学测量
非接触、非破坏测量;
6,节省空间、配置灵活、支持定制化
这不仅仅是一次免费的设备体验,更是一次与资深光学应用专家面对面探讨的机会。凡参与本次活动的客户,均可获得快速优质,精准全面的样件分析测试服务,结果由复享光学出具的 【专业定制薄膜量测报告(PDF版)】。
申请指南
只需3步,免费测样!
复享光学的量测指标已实现原子级、纳米级、微米级的超广量程全覆盖。为了保证每份测试报告的质量,本月免费测样活动仅限 20个免费名额,额满即止!
STEP 1|线上登记(提交需求)
长按并识别下方二维码,花1分钟填写您的薄膜材料类型、预估厚度及测试需求。

STEP 2|专家对接(寄送样品)
复享光学应用工程师将在24小时内与您电话/微信联系,确认测试可行性,并提供样品的官方寄送地址。
STEP 3|获取报告(数据交付)
我们在收到样品后的5个工作日内完成测试,并将详尽的定制PDF测试报告发送至您的电子邮箱。