2026年10月30日-11月1日第十一届工业等离子体科学技术研讨会议顺利召开。大会集结产学研各界专家，聚焦低温等离子体机理、工艺应用及国产化在线诊断技术开展研讨。

上海复享光学受邀参展，营销总监董磊作题为《等离子体光谱诊断双技术体系构建——高速阵列光谱×零像散影像矫正光谱的融合应用》的大会报告，分享面向科研与工业场景的国产化光谱诊断解决方案。

等离子体参数诊断是半导体刻蚀、薄膜改性等工艺的关键，需要兼顾稳态、瞬态、空间分辨多重测量要求，不同诊断手段信号条件差异大，单台设备难以覆盖全部工况。

面向多场景的双技术体系构建

报告重点介绍复享光学两大等离子体光谱诊断技术体系。

高速阵列光谱体系中，SINO光谱仪适配稳态等离子体宽带在线监测，体积小巧，便于工业OEM集成；

SINO光谱仪产品图

BLAZE高速高分辨光谱仪凭借高分辨与纳秒时序门控能力，有效抑制脉冲背景干扰，适配脉冲等离子体、LIBS检测。

BLAZE高速高分辨光谱仪

针对汤姆逊散射、激光诱导荧光等弱光、空间分辨测量场景，零像散影像矫正光谱体系通过TEMBO、HELENA成像光谱仪解决传统设备像散、通道串扰难题，搭配IsCMOS门控增强探测器，实现微弱信号采集，获得等离子体电子温度、密度时空剖面信息。

HELENA成像光谱仪产品图（左）

TEMBO高分辨成像光谱仪（右）

两套体系按需灵活组合，复享光学可提供光路、时序、软件一体化定制集成交付，覆盖从基础科研到工业在线监控的完整诊断链路。

从现场交流到自主可控的长期实践

展会现场，复享光学展示相关光谱诊断设备，与高校及产业技术人员就等离子体诊断国产化开展深入交流。

未来，复享光学将持续打磨光谱诊断核心技术，助力我国等离子体科研进步与高端装备自主可控。