「复享光学」从本土到国际：探索开放格局下的创新与合作
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9月25日上午，北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会在北京经开区北人亦创国际会展中心开幕。大会由北京市经济和信息化局、北京经济技术开发区管理委员会主办。大会以“凝‘芯’聚力 奋楫扬帆”为主题，围绕2023年产业发展趋势和前沿技术等展开一场极具权威性、专业性、前瞻性的高水平学术交流。上海复享光学股份有限公司（以下简称“复享光学”）展示了前道工艺中中国先进光谱检测方案，并应邀出席专题研讨会，完成《终点检测在等离子体刻蚀工艺中的应用》的专题报告。
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迭代与创新
回顾上一届 IC WORLD 会议，复享光学发布了 ZURO 终点检测光谱仪与 ideaEPD 半导体行业软件。经过一年的深入服务和迭代创新，复享光学成功地满足了多家半导体设备头部客户的需求，并完成了产品在 Fab 厂的验证工作，同步实现了 ZURO-ND 和 ideaEPD 产品的迭代升级，满足了终端量产客户的严苛要求，最终受到了客户的高度评价。
本次展会中，应对百层 3D NAND、沟槽型 SiC MOSFET 等新型的复杂器件，复享光学发布了面向无截止层终点信号判断的 IEP 解决方案，为国产刻蚀设备应对高端工艺需求，达到国际领先水平提供了关键原位在线量检测方案。
除了满足刻蚀工艺的需求，复享光学还为薄膜和 OCD 的量测机台与光刻设备提供了核心光谱模组。例如，在光刻光源系统中研发了在线监控设备，并已通过客户验证首次投入市场；在膜厚和 OCD 的应用中，研发出新产品 ZURO-SE量测光谱仪，解决了传统光谱仪深紫外波段灵敏度低的行业痛点。
精益求精，夯实基础
复享光学在谈到进一步升级解决方案的原因时指出，中国的先进半导体节点工艺受到制约，主要原因是半导体设备的关键性能受限。这种性能落后的根源在于关键零部件的性能指标未达标，尤其是光学零部件。据中金公司研究部统计数据显示，光学零部件的国产化率不足 1%。因此，复享光学认为，快速迭代并提高可量产的核心零部件性能，是推动半导体设备性能提升的关键所在。
2023年，在头部晶圆厂和半导体设备厂的鼎力支持下，复享光学基于在微纳光子学量检测领域超过十年的经验积累，聚力完成了 ZURO-ND 新产品的迭代，在原有基础上提高了近 10 倍的检出限。这使得我们可以有效地监控高深宽比、低开口率等刻蚀场景下的极弱元素特征光谱线。通过与国外标杆产品的测试比较，客户一致认为复享光学的终点检测方案能够实现对国外同类产品的国产替代，在个别参数上实现超越。
此外，复享光学考虑中国用户的实际需求，升级了 ideaEPD 软件架构，使系统具备更智能的终点判断算法、更强大的配置文件、更丰富的历史数据分析功能和更便捷的操作体验。这些改进使得我们能够满足终端客户多种多样的使用需求。
目前，复享光学已经为多家半导体头部客户提供了优质服务，截止到今年7月，完成了 50,000 片以上的 wafer 数据验证。面向真实产业需求，复享光学有能力为设备客户提供达到全球领先水平的EPD解决方案。
与时俱进，以客户为中心
近年来，随着新技术和新兴产业的出现，一些半导体设备企业崭露头角。他们进入了细分领域，如新型显示、新能源、生物芯片、新型光电芯片、全光子芯片等。尤其是化合物半导体市场涌现出了许多新的半导体设备玩家，这些变化都显示出中国半导体行业的活力和创新潜力。
复享光学在微纳光学材料与量检测领域已有十多年技术积累，拥有超过 3000 家优质客户，能很好的满足这些客户从 Lab 到 Fab 的工艺开发过程中的多种类检测需求。
精耕细作，夯实能力，力争领先
除了技术上的积累和精进，在公司治理方面，复享光学也在不断优化和升级。
1、复享光学先后成立市级“上海微纳制程智能检测工程技术研究中心”，与“复旦大学光检测与光集成校企联合研究中心” 平台，面向产业真实场景，加速技术成果转化进程，缩短半导体产品开发周期，与高校、科研院所及半导体客户共同协作，解决“卡脖子”技术。
2、复享光学通过了 ISO9001 质量管理体系认证，打造复享光学“交付、成本、质量”核心竞争优势，树立公司在半导体市场的行业口碑。
3、应对国家战略对半导体行业本土化的需求，复享光学积极响应关键元器件的国产化进程，并期待携手国内更多优质供应商，共同实现关键零部件的自主可控，把“饭碗”端在咱们中国人自己手里。
作为一家领先的科技公司，复享光学坚信，全球化业务是未来发展的必然趋势。产品的快速迭代、质量的提升以及关键技术的自主可控，都将最终体现在社会效益和经济效益上。公司始终关注全球半导体产业的发展趋势，并对海外业务的发展进行前瞻性布局和积极尝试。
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