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通过将光的频率信息加以应用，人类创造了光谱分析技术。由于光谱分析具有精度高、测量范围大、速度快和样品用量少等优点，已经广泛应用于科研和生产检测领域。尤其随着微纳制造的飞速发展，光谱分析技术不断深入各类生产制造与量检测环节，已成为支撑集成电路和光电子芯片产业制造工艺的关键技术之一。这个角逐激烈的赛道上，诞生于高校实验室的国内企业复享光学正异军突起，凭借在深度光谱技术领域的积累，为等离子体刻蚀终点检测、缺陷检测、光学量测等环节带来了高效的解决方案。去年，集微网曾在2021年IC… Details
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2022年9月，上海复享光学首创的基于傅里叶光学显微角分辨光谱仪(ARMS)通过国家科技部科技成果评价并成功入库，这标志着我国在相关领域技术不仅达到国际先进水平，也为光子芯片、光子晶体、超构材料等领域的技术发展奠定了坚实基础。 Details
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9月2日，复享光学承担的上海市2022年度“科技创新行动计划”科学仪器领域项目《堆叠环栅晶体管（GAA-FET）制程量测拉曼光谱仪》获批立项。 Details
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2022年9月，上海复享光学股份有限公司（以下简称“复享光学”）通过与头部客户的深度打磨和产线验证，历时一年，完成了针对刻蚀应用场景的光谱仪—ZURO系列产品的研发与量产导入，为集成电路产业提供了面向6、8、12寸制程刻蚀工艺的光谱检测解决… Details
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7月28-30日，“第四届光电发展论坛·有机光电材料与器件发展研讨会”在浙江省宁波市顺利召开。上海复享光学股份有限公司携深度光谱技术应邀参展，并在“有机光电材料合成、制备、性能”报告单元进行了学术演讲，探讨复享光学R1-OLED荧光角分辨光… Details
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近日，复享光学和复旦大学合作建立的“光检测与光集成校企联合研究中心”（以下简称“联合研究中心”或“中心”）正式揭牌运行。与此同时，复享光学和复旦大学联合承建的“上海微纳制程智能检测工程中心”（以下简称“工程中心”）技术委员会年度会议同步召开… Details
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