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9月2日,复享光学承担的上海市2022年度“科技创新行动计划”科学仪器领域项目《堆叠环栅晶体管(GAA-FET)制程量测拉曼光谱仪》获批立项。 Details
2022年9月,上海复享光学股份有限公司(以下简称“复享光学”)通过与头部客户的深度打磨和产线验证,历时一年,完成了针对刻蚀应用场景的光谱仪—ZURO系列产品的研发与量产导入,为集成电路产业提供了面向6、8、12寸制程刻蚀工艺的光谱检测解决… Details
7月28-30日,“第四届光电发展论坛·有机光电材料与器件发展研讨会”在浙江省宁波市顺利召开。上海复享光学股份有限公司携深度光谱技术应邀参展,并在“有机光电材料合成、制备、性能”报告单元进行了学术演讲,探讨复享光学R1-OLED荧光角分辨光… Details
近日,复享光学和复旦大学合作建立的“光检测与光集成校企联合研究中心”(以下简称“联合研究中心”或“中心”)正式揭牌运行。与此同时,复享光学和复旦大学联合承建的“上海微纳制程智能检测工程中心”(以下简称“工程中心”)技术委员会年度会议同步召开… Details
12月15日,2021年中国半导体设备年会暨重庆半导体产业创新发展论坛(以下简称CSEAC 2021)在重庆召开。本届大会由中国国际智能产业博览会组会委会、中国电子专用设备工业协会主办,以“整合产业链优势,提升配套供给能力”为主题吸引了来自… Details
作者: 李延

(集微网报道)芯片制造过程是一个漫长的链条,很多重要工艺环节都需要精密的检测手段发现缺陷,确保良率从而降低生产成本、提高控制工艺。现在,就有一家国内企业正将自己在微纳光谱分析上长达10年的积累带入半导体行业。这就是… Details
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