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MetronLens 超构透镜光学检测系统

复享超构透镜光学检测系统的相关参考文献



技术参数
关键技术
型号
描述
MetronLens光场检测 + 远场检测
MetronLens-Phi相位检测 + 光场检测 + 远场检测


项目
测量模式:透射光场分布检测,透射远场分布检测
可测量光学参数:光场分布、焦距、数值孔径、PSF、MTF、相对聚焦效率、成像分辨率、远场分布
系统数值孔径:0.75 @ 40X
视野范围:Φ0.5mm @ 40X,Φ4mm @ 5X
空间分辨率:0.45μm @ 40X,2.35μm @ 5X
z轴扫描精度:±1μm(0~1mm 行程),±3μm(1~22mm 行程)
焦距最大测量范围:5mm
标配光源:532nm 光纤连续激光器
入射平行光发散角:0.2°
光源拓展接口:1个 FC/APC接口

项目
测量模式:透射相位分布检测,透射光场分布检测,透射远场分布检测
可测量光学参数:相位分布、波相差、泽尼克像差、光场分布、焦距、数值孔径、PSF、MTF、相对聚焦效率、成像分辨率、远场分布
系统数值孔径:0.75 @ 40X
视野范围:Φ0.5mm @ 40X
空间分辨率:0.6μm @ 40X
相位测量分辨率(RMS):50mrad
相位测量波相差:0.05λ
z轴扫描精度:±1μm(0~1mm 行程),±3μm(1~22mm 行程)
焦距最大测量范围:5mm
标配光源:457nm、532nm、660nm 空间光连续激光器
入射平行光发散角:0.1°
光源拓展接口:1个 FC/APC接口、1个空间光接口

项目
偏振扩展:支持实现入射/接收偏振加载,适配 4mm 厚度偏振片
定制服务:支持其他激光波长扩展定制
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