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MetronLens 超构透镜光学检测系统

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技术参数
关键技术
型号
描述
MetronLens
光场扫描 + 远场扫描 / 可见 + 近红外
MetronLens-P
光场扫描 + 相位检测 + 远场扫描 / 可见


项目
测量模式:光场(透 / 反射)、相位(透射)、远场(透 / 反射)
功能:三维光场分布、相位分布、远场分布、焦距、聚焦效率、波相差、泽尼克像差、点扩散函数(PSF)、调制传递函数(MTF)、斯特列尔率比、数值孔径(NA)
工作波段:400~950nm / 900~1700nm
测量区域大小:2~500μm/1~4mm
空间分辨率:0.6μm @ 532nm
入射平行光发散角:<0.1°
相位测量分辨率(RMS):<50mrad
焦距测量范围:0~22mm
扫描精度:<1μm @ 0~1mm,<2μm @ 0~22mm
外形尺寸:715 × 765 × 742 mm³
注:具体参数视型号而定

项目
扩展模块:支持空间光耦入耦出;可扩展任意偏振态激发与检偏

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