AR-Meta，专业化的“超表面光场检测系统” - 上海复享光学股份有限公司

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AR-Meta | 超构透镜检测系统

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AR-Meta，全波段的“超构透镜检测系统”
微纳尺度器件检测 / 光场 + 相位 / 紫外到近红外宽波段

AR-Meta 是一套用于原位测量超构表面 (超表面)、超构透镜 (超透镜)、微透镜阵列等新型微纳器件的三维光场分布和相位分布的光学检测系统，采用了宽波段色差校正、消像差等光学设计，在 μm 尺度实现了紫外-近红外透反射测试，并提供了焦距、波相差、泽尼克像差、点扩散函数、调制传递函数、斯特列尔比、数值孔径等关键性能指标的分析。

AR-Meta 超表面光场检测系统

典型应用领域：
       超构表面   扫描微米尺度下的复杂光场，定量、可视化地表征微纳器件在空间上的光场调控能力。
       超构透镜   检测光场分布、相位分布、波相差、波前畸变和相关性能指标，有助于优化超构透镜的设计和加工工艺，促进超构透镜产业化进程。
       微透镜阵列   测量微米级口径微透镜及微透镜阵列的光场和相位分布，可实现高精度、高稳定性、高UPH的快速检测。

      AR-Meta 超构透镜检测系统在以上领域的应用得益于如下几个创新点：
       1  功能丰富 AR-Meta 是一套为超构透镜、超构表面等微纳器件量身设计的综合检测系统，提供了焦距、成像分辨率 (含角向分辨率)、波相差、泽尼克像差、斯特列尔率、数值孔径、点扩散函数 (PSF)、调制传输函数 (MTF)、3D光场分布等 10+ 项主流光学检测中衡量器件光学性质的关键测量指标；
       2  微米级采样区域基于 Olympus 显微平台，配合消除像差的准直及成像光路，实现了 μm 量级超构表面器件的光场检测；
       3  反射 + 透射模式 AR-Meta 支持透射和反射两种模式，能够轻松实现 0~22 mm 行程的光场扫描；
       4  宽波段/多光源支持 400~1700 nm 的宽谱段数据采集，紫外-可见/近红外谱段之间可以高稳定快速自动切换；支持空间光输入和光纤输入，可同时外接多台激光光源；
       5  操作简便 AR-Meta 配套的软件集成了实现自动化控制、快速切换、数据呈现、数据导出、数据分析和处理、二次开发等功能；
       6  可扩展性强结合丰富的偏振器件，可实现任意偏振态的激发和检测，以及更多定制化的扩展功能，例如传输相位样品和几何相位样品的检测。

      了解更多内容： 如何在显微尺度检测周期性样品？如何测量纳米结构的角度色散？

复享超表面光场检测系统的相关参考文献
[1] Phase characterisation of metalenses.Light: Science & Applications, 2021, 10 (1), 52.
(影响因子: 20.257, 单位: 复旦大学,通讯作者: 石磊, 董建文, 资剑, 蔡定平 )
[2] A Highly Efficient Bifunctional Dielectric Metasurface Enabling Polarization-Tuned Focusing and Deflection for Visible Light. Advanced Optical Materials. 2019, 7 (9), 1801337.
(影响因子: 10.05, 单位: 韩国光云大学, 通讯作者: Sang-Shin Lee）
[3] Experimental demonstration of optical trapping and manipulation with multifunctional metasurface. Optics Letters, 2022, 47 (4), 977.
(影响因子: 3.56, 单位: 西安光机所, 通讯作者: 王国玺, 姚保利)
[4] Metalenses at visible wavelengths: Diffraction-limited focusing and subwavelength resolution imaging. Science, 2016, 352 (6290), 1190.
(影响因子: 63.714, 单位: 哈佛大学, 通讯作者: Federico Capasso)

AR-Meta-F | 扫场式超构透镜检测系统
- 利用光场扫描技术，获取经超构透镜之后的光场分布
- 研究焦距、点扩散函数、光学调制传输函数、色散等相关参数

AR-Meta-P | 相位式超构透镜检测系统
- 利用相位测量技术，获取超构透镜所调控的相位分布
- 研究不同波长的相位分布、波相差、偏振、缺陷、泽尼克相差、焦距等相关参数

技术参数

关键技术

型号

描述

AR-Meta-F-vis

光场扫描 / 可见

AR-Meta-F-nir

光场扫描 / 近红外

AR-Meta-P-vis

相位检测 / 可见

系统参数

项目

值

外形尺寸：

主机 650 × 720 × 700 mm³

采样区域：

≤ 500 μm 或 1~4 mm（2档可切换），空间分辨率 ≤ 1 μm（基于标配物镜）；可选配 5X 物镜

样品台：

XY 轴手动/自动调节；Z 轴软件自动控制

光路模式：

可选透射模式 / 透射 & 反射模式

关键测量指标：

● 相位分布 ● 波相差 ● 焦距 ● 点扩散函数 (PSF) ● 调制传输函数 (MTF) ● 数值孔径 ● 泽尼克像差等, 支持共轴干涉和离轴干涉模式。

焦距测量范围：

0~22 mm

光场扫描精度：

精度 ≤ 1 μm

入射平行光：

发散角 ≤ 1° ，光束尺寸 2 种可选

软件功能：

全自动光场扫描测量、相位分布测量，支持多种数据分析、多种格式的数据导出

扩展功能：

可选配偏振模块、3D 全息成像模块等

宽谱段消色差技术
最宽谱段覆盖范围达 400~1700nm。

消像差设计
采用消除像差光学设计

入射平行光技术
采用专利的平行光入射模块，解决了光束发散的问题，入射平行光发散角 ≤ 1° 。

面阵背照式技术
可见波段采用制冷型面阵背照式技术，大幅提高量子化效率。

近红外技术
近红外波段采用高品质制冷型 InGaAs 探测器，实现了 900~1700nm 波段的高效探测。

相关案例：

AR-Meta在超构透镜相位检测中的应用		AR-Meta在超构表面偏振检测中的应用		AR-Meta在超构表面光场检测中的应用