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AR-Meta 超表面光场检测系统

复享超表面光场检测系统的相关参考文献

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AR-Meta-P | 相位式超构透镜检测系统



技术参数
关键技术
型号
描述
AR-Meta-F-vis
光场扫描 / 可见
AR-Meta-F-nir
光场扫描 / 近红外
AR-Meta-P-vis
相位检测 / 可见


项目
外形尺寸:主机 650 × 720 × 700 mm³
采样区域:≤ 500 μm 或 1~4 mm(2档可切换),空间分辨率 ≤ 1 μm(基于标配物镜);可选配 5X 物镜
样品台:XY 轴手动/自动调节;Z 轴软件自动控制
光路模式:可选透射模式 / 透射 & 反射模式
关键测量指标:● 相位分布 ● 波相差 ● 焦距 ● 点扩散函数 (PSF) ● 调制传输函数 (MTF) ● 数值孔径 ● 泽尼克像差等, 支持共轴干涉和离轴干涉模式。
焦距测量范围:0~22 mm
光场扫描精度:精度 ≤ 1 μm
入射平行光:发散角 ≤ 1° ,光束尺寸 2 种可选
软件功能:全自动光场扫描测量、相位分布测量,支持多种数据分析、多种格式的数据导出
扩展功能:可选配偏振模块、3D 全息成像模块等


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