「光谱 · 硬科技」复享光学参加慕尼黑上海光博会，欢迎莅临！
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上海复享光学股份有限公司是一家算法驱动的光谱硬科技公司，公司致力于为科研创新、微纳制造提供深度光谱解决方案。本次慕尼黑上海光博会，复享光学将围绕光 / 光电 / 集成电路制程芯片，呈现多方位产品及解决方案展示，诚邀您莅临观展。
▶ 展位：W5 馆 5440
▶ 时间：2021 年 3 月 17-19 日
▶ 地点：上海新国际博览中心
专题 1
光芯片、光电子芯片检测方案
AR 光芯片检测：
宏观角分辨光谱设备 R1：自动化运行，便捷操作实现不同角度入射和接收光谱检测。一套系统实现偏振、分子取向、光栅尺寸等多种测试功能。
主要指标：
倾角误差：< 1°
周期误差：< 2 nm
检测效率：> 20 pcs/h
新型显示面板单像素光谱检测：
共焦显微光谱模块 gora-Lite：通过功能模块搭建，即插即用。基于已有设备，随实验室需要快速调整，实现拉曼、荧光寿命等光谱特性测试。
主要指标：
亮度范围：0.1-2000 nit
亮度精度：±2% （1 ~ 2000 nit）
色度精度：±0.003
专题 2
集成电路设备模组
单层/多层薄膜厚度检测：
膜厚测量解决方案 filmX：多种测试系统形态，实现不同膜厚测量场景兼容高精度、便捷膜厚测量，兼容产线使用。
主要指标：
厚度范围：50 nm ~ 100 μm
光谱范围：300 ~ 1700 nm
层数：≤ 200 层
晶圆级光电检测、OES 光谱模组、自动化反射率仪，更多精彩设备现场揭晓。现场更有精美小礼品赠送，W5 馆 5440 欢迎诸位莅临。
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