产品 Products
光谱仪
光谱仪
高灵敏光谱仪 | PG2000-EVO
实验教学光谱仪 | E820
微型光谱仪 | FX4000
高速光纤光谱仪 | FX2000
等离子体光谱仪 | BLAZE
发射光谱监控光谱仪 | ZURO
工业高速光谱仪 | SINO
高分辨成像光谱仪 | TEMBO-300
高分辨光谱仪 | PG4000
制冷型光纤光谱仪 | NOVA
制冷型光纤光谱仪 | NOVA-EVO
近红外光谱仪 | NIR
 角分辨光谱仪 / 椭偏仪
 角分辨光谱仪 / 椭偏仪
角分辨光谱仪 | R1
光栅效率与周期测量系统 | R1-DFG
生物分子互作光谱仪 | R1-SPR
有机发光材料角分辨光谱仪 | R1-OLED
显微角分辨光谱仪 | ARMS
 超构表面光学检测 / 相位
 超构表面光学检测 / 相位
超构透镜检测系统 | MetronLens
晶圆级光学计量与检测
晶圆级光学计量与检测
反射膜厚测量仪 | MetronFilm
晶圆级衍射光波导光学检测系统 | Metrondie-SRG
 显微光谱 / 共焦光谱
 显微光谱 / 共焦光谱
显微光谱仪 | Beagle-M
共焦拉曼/荧光光谱仪 | gora
显微光谱扩展附件
显微光谱扩展附件
显微平行光双口切换器 | DPS
显微光谱扩展口 | CMS
 模块拉曼 / 荧光
 模块拉曼 / 荧光
拉曼光谱仪 | K-Sens
拉曼光谱仪 | Kun
拉曼探头 | fProbe
荧光探头 | fProbe
光纤激光器 | fLaser
滤光片(组) | OpFilter
如何构建拉曼系统 •••
光伏器件光电表征
光伏器件光电表征
准费米能级分裂检测系统 | LuminQY
准费米能级分裂成像系统 | QFLSVision
在线原位荧光光谱仪 | InView-PL
高压光谱表征
高压光谱表征
高压拉曼光谱仪 | DiRa
红宝石标压系统 | RubyC
 光源 / 光纤 / 配件
 光源 / 光纤 / 配件
高功率卤素光源 | HL100
卤素光源 | HL2000
氘卤二合一光源 | iDH2000
石英光纤 | FIB
光纤准直镜 | FIBH
积分球 | IS
光纤探头 | P-TIP
光纤可调衰减器 | FVA
显微镜适配器 | C-Mount
标准铝镜 | STD-M
标准白板 | STD-WS
余弦矫正器 | STD-CC
 光谱检测系统 / 软件
 光谱检测系统 / 软件
透射光谱测量支架 | R2
反射光谱测量支架 | R3
比色皿光谱测量支架 | R4
光谱测试软件 | Morpho
 工业检测
 工业检测
D8 反射仪 | R9000
D8 反射仪 | R9000-2DMA
您当前所在的位置： 首页> 产品> MetronFilm 反射膜厚测量仪



MetronFilm反射膜厚测量仪



技术参数
型号
描述
MetronFilm厚度测量范围 15nm ~ 260μm，VIS
MetronFilm-EX厚度测量范围 1nm ~ 260μm，UV+VIS


项目
值
波长范围：380~1100nm
光源：内置卤素灯
厚度测量范围*：15nm ~ 260μm
测量 n&k 最小厚度*：50nm
准确度* : 2nm @ ≤1000nm，或 0.2% @ ≥1000nm
精度¹：0.02nm
稳定性²：0.05nm
光斑大小：1.5mm
样品尺寸：直径从 1mm 到 300mm 或更大
测量速度* : 单层少于 1s

项目
值
波长范围：190~1100nm
光源：外置氘灯+卤素灯
厚度测量范围*：1nm ~ 260μm
测量 n&k 最小厚度*：50nm
准确度*: 1nm @ ≤500nm，或 0.2% @ ≥500nm
精度¹：0.02nm
稳定性²：0.05nm
光斑大小：1.5mm
样品尺寸：直径从 1mm 到 300mm 或更大
测量速度* : 单层少于 1s

项目
值
备注：* 取决于材料
 ¹ 在连续 10 天内，对 800nm 厚的硅基二氧化硅（SiO₂-on-Si）薄膜每日进行 100 次测量，此值为这些每日平均值的标准偏差值的平均值（1σ）
 ² 在连续 10 天内，对 800nm 厚的硅基二氧化硅（SiO₂-on-Si）薄膜每日进行 100 次测量，此值为这些每日平均值的 2 倍标准差（2σ）


 

 



 

 


沪ICP备16050435号

沪(杨)应急管危经许[2021]205125
沪公网安备31011002006429